JAIMA機器開発賞

[H1102A] 軟X線ホログラフィック不等間隔溝回折格子の開発と高分解能発光分光システムへの応用

○小池 雅人^1,2,3、寺内 正己²、村野 孝訓⁴、大上 裕紀⁵、越谷 翔吾⁴、垣尾 翼⁵ (1. （国研）量子科学技術研究開発機構関西光量子科学研究所、2. 東北大学多元物質科学研究所、3. 大阪公立大学大学院工学研究科、4. 日本電子SA事業ユニット、5. 島津製作所デバイス部)

Keywords:Diffraction grating、Soft X-ray、Flat field spectrograph、Emissin spectroscopy、Chemical state analysis