講演情報

(ポスター講演)

一般ポスター／テクノレビューポスター

一般ポスター-1／テクノレビューポスター

2023年5月21日(日) 10:00 〜 11:45 P会場 (P会場)

10:00 〜 11:45

[P2003T] 蛍光X線膜厚計FT230による金属膜に対する高スループット測定の実現

○辻川葉奈¹、工藤志緒¹、土屋恒治¹ (1. （株）日立ハイテクサイエンス)

キーワード：蛍光X線膜厚計、膜厚測定、エレクトロニクス、めっき、半導体検出器

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