fsLA-spICP-MSによる積層デバイス向けセラミックスシート中の粒子状汚染物質評価

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03: 一般講演（ポスター発表）

Sun. May 19, 2024 10:10 AM - 11:50 AM P/Y (体育館)

10:10 AM - 11:50 AM

○山下真弘¹、中西将太¹、関広美¹ (1. 京セラ(株))

Keywords:spICP-MS、fsLA-spICP-MS、LA-ICP-MS、nanoparticle、contamination

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