第85回分析化学討論会

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04：若手講演（ポスター発表）

若手ポスター-2

Sat. May 31, 2025 1:15 PM - 2:40 PM Y (学生会館)

1:15 PM - 2:40 PM

[Y1171] レーザーソフトイオン化におけるSiピラー構造のサイズ依存性

○藤井 優祐1、大須賀 潤一2、古谷 浩志3、豊田 岐聡4、松尾 保孝5 (1. 北大院総化、2. JEOL協働研、3. 阪大リノ工作、4. 阪大院理、5. 北大電子研)

Keywords:Siピラー、SALDI、DIOS、EBリソグラフィ、ドライエッチング

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