PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 0 13:30 〜 13:45 [16p-B2-1] 成長界面上の空孔の発生と結晶内部における格子間シリコンの発生 [1] 融液輻射による加熱 ○阿部孝夫1,高橋徹1,白井光雲2 (信越半導体1,阪大2) キーワード:silicon,点欠陥