[16p-D6-1~16] 14.4 光物性・発光デバイス

[16p-D6-3] 反応性スパッタリング法による窒素添加シリコンナノ粒子の作製

^○伊藤駿，佐藤慶介，平栗健二 (東京電機大)

キーワード：シリコンナノ粒子