[17p-B5-1~21] 13.3 絶縁膜技術

[17p-B5-15] Al₂O₃膜挿入によるリーク電流低減の検証

^○黒柳洋真，中谷友哉，岩崎好孝，上野智雄 (東京農工大・工)

キーワード：Ge,Al2O3,HfO2