10:00 〜 10:15
[19a-A12-1] 「講演奨励賞受賞記念講演」（15分）イオンビーム照射成膜によるAlN薄膜の極性・配向制御および極性反転多層構造の形成
キーワード：イオンビームアシスト成膜法,c軸平行AlN薄膜,極性反転多層構造
講演情報
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般
[19a-A12-1~8] 7.6 イオンビーム一般
2013年9月19日(木) 10:00 〜 12:00 A12 (TC1 3F-316)
一般セッション(口頭講演)
07．ビーム応用 » 7.6 イオンビーム一般
2013年9月19日(木) 10:00 〜 12:00 A12 (TC1 3F-316)
10:00 〜 10:15
キーワード：イオンビームアシスト成膜法,c軸平行AlN薄膜,極性反転多層構造