2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[1V-2] (株)ケーサイエンス

■マグネトロンスパッタ源 ■特殊スパッタ源 ■スパッタ装置 ■複合型薄膜作製装置 ■排気装置