2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

出展者情報

[1SP-2] (株)スプリード

■ALD装置 ■スパッタ装置 ■EB蒸着装置 ■抵抗加熱装置 ■レーザーアブレーション装置 ■CVD装置 ■Cat-CVD装置 ■TEOS装置 ■RHEED解析装置 ■マグネトロンスパッタ源 ■EBガンユニット ■イオンソース ■プラズマ源 ■Kセル ■真空ユニット
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    206-0801
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