2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

出展者一覧

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[1V-7] (株)サーモ理工

■新型スーパーRTA装置(SR1800D) ■集光照射式赤外線真空炉(IVF298W) ■均温熱処理装置(GFA430VN) 他

[1X-2] 坂口電熱(株)

■レーザー平面加熱装置「ExLASER_Lite(エックスレーザー・ライト)」 (φ0.5インチサイズを1ショット加熱。ワイドラック収納一体型) ■各種ヒーター、センサー、コントローラー 等

[1V-4] (株)三啓

■卓上走査型電子顕微鏡 JCM-6000 ■小型ロータリーポンプ EM, RVシリーズ

[1V-1] 三和真空(株)

■英国オックスフォードアプライドリサーチ社:ミニe-ビームエバポレータ、サドルフィールド型アトムソース、ピエゾエレクトリックガスドーザー ■米国MeiVac社:スパッタソース、高温加熱用基板ヒーター ■当社オリジナル継手 他