■フラッシュランプ アニール ■フラッシュソーラーシミュレーター

■ALD装置 ■スパッタ装置 ■EB蒸着装置 ■抵抗加熱装置 ■レーザーアブレーション装置 ■CVD装置 ■Cat-CVD装置 ■TEOS装置 ■RHEED解析装置 ■マグネトロンスパッタ源 ■EBガンユニット ■イオンソース ■プラズマ源 ■Kセル ■真空ユニット