■太陽光発電用薄膜形成装置ならびに各種蒸着装置関連のパネルおよび実機展示

1) Arradiance社製原子層堆積（ALD）装置　2) サイバーレーザー社製超短パルスレーザー IFRIT-TD20　3) PVA Tepla 社製ウエハ表面改質用プラズマペン　4) PVA Tepla 社製ウエハ接合面や断面構造解析用超音波

■電磁界・荷電粒子・プラズマ解析ソフトウェアMW STUDIO、PARTICLE STUDIO、VSim(VORPAL)、PrismSPECT ■小型電子加速器と高エネルギーX線源 ■電子銃・イオン源・ヒーター ■大気圧マイクロ波プラズマ源とマイクロ波電源 ■高電圧短パルス電源 ■誘電率測定装置

1.蒸着用基板加熱機構〔赤外線ランプ,赤外線レーザ,SiC,白金,グラファイト,シース式等〕　2.複合型PLD/MBE蒸着装置　3.多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

■高出力単一周波数DBRレーザー ■高出力VCSEL ■他各種レーザー（SLMレーザーを含む） ■ピエゾステージ ■IBSコーティング光学部品 ■ピエゾモーターステージ

■真空機器全般及び周辺機器の設計・製作・加工・販売・据付調整等。 販売提携先: 日本ビーコ株式会社、株式会社サーモ理工、キヤノンアネルバ株式会社、アルバック機工株式会社

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■SiC用CVD装置 ■SiC用超高音プロセス炉 ■面発光レーザー用酸化装置 ■各種Kセル

■化合物結晶及び各種消耗品

■有機デポジション装置 ■Cryo-SEM前処理装置 ■イオンミリング装置 ■スパッタコーター ■電子検出器 ■最新SEM/TEM周辺機器 ■油回転ポンプ制御装置