■電磁気、機械、音響、流体、半導体、プラズマ、MEMS、燃料電池、土木等の工学分野に限らず、広く科学として医療、健康、食品、バイオ、地球科学等を含む様々な分野のモデルを、全て1つのソフト・1つの統合GUI上で、モデル作成/インポートから可視化まで一貫してマルチフィジックス解析ができる汎用物理現象シミュレーションソフトウェア「COMSOL Multiphysics」のご紹介です。ブースではソフ...

■マグネトロンスパッタ源 ■特殊スパッタ源 ■スパッタ装置 ■複合型薄膜作製装置 ■排気装置