1.蒸着用基板加熱機構〔赤外線ランプ,赤外線レーザ,SiC,白金,グラファイト,シース式等〕　2.複合型PLD/MBE蒸着装置　3.多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置

■高出力単一周波数DBRレーザー ■高出力VCSEL ■他各種レーザー（SLMレーザーを含む） ■ピエゾステージ ■IBSコーティング光学部品 ■ピエゾモーターステージ

■真空機器全般及び周辺機器の設計・製作・加工・販売・据付調整等。 販売提携先: 日本ビーコ株式会社、株式会社サーモ理工、キヤノンアネルバ株式会社、アルバック機工株式会社

■MBE装置 ■MOCVD装置 ■SiC用CVD装置 ■SiC用超高音プロセス炉 ■面発光レーザー用酸化装置 ■各種Kセル

■化合物結晶及び各種消耗品

■有機デポジション装置 ■Cryo-SEM前処理装置 ■イオンミリング装置 ■スパッタコーター ■電子検出器 ■最新SEM/TEM周辺機器 ■油回転ポンプ制御装置

■APEX, JJAP 見本誌等

■小型分光器 ■全光束測定システム ■波長可変Ti:Sレーザ

■量子効率測定システム　QE series

■CW 266㎜ 深紫外レーザ ■PPMgSLTデバイス ■532/355nmレーザ ■各種モジュール

■レーザパワーメータ ＆ レーザエネルギメータ ■レーザビームプロファイラ

■高機能ロックインアンプ ■光学部品

■オーシャンオプティクス社　小型分光器 ■ラブスフェア社 積分球 ■NNラボ社 量子ドット ■LEONI社 光スイッチ

■偏光顕微鏡 ■加熱冷却ステージ、他

■150 mmマニュアル･プロービング･パッケージ（RF/ミリ波、不良解析、DCパラメトリック、パワーデバイスなど、各種測定に適した統合パッケージ） ■高周波プローブ（DC～325 GHzまで対応した同軸および導波管高周波プローブ, RF/DC/パワーの混在するプロービングに対応したマルチコンタクト･プローブ、光通信デバイス用プローブなど）

■ 研究紹介: パワーアシストスーツ、アシストバンド、HEMS認証センター ■教育紹介: 新教育体系、厚木市との教育連携

■顕微ラマン測定装置 ■赤外線サーモグラフィ ■小型DPSSレーザ