■EM試験機

■Ultratech社（旧CambridgeNanoTech社）のALD装置（原子層堆積装置）及び最新のALD成膜をご紹介いたします。

■ＰＬＤ／レーザーＭＢＥ装置 ■原子散乱表面分析装置 ■極低温冷凍機システム ■真空ポンプ・真空計他各種真空コンポーネント

■ORCA Flash4.0 ■オプティカルブロック ■マイクロＰＭＴアッセンブリ ■MPPCモジュール ■ミニ分光器、他

■ポータブル型Ｘ線残留応力測定装置　μ－Ｘ３６０ FULL 2D

■ピエゾアクチュエータ ■多軸ピエゾステージ ■コントローラ　等

■共焦点ラマン顕微鏡 Alpha300R ■近接場光学顕微鏡　Alpha300S

■μスパッタカソード ■２インチマクネトロンスパッタカソード ■MDC社製電子ビーム蒸着源　他

■走査型プローブ顕微鏡（SPM） ■プローブステーション NanoNaviReal ■汎用小型ユニット Nanocute

■スパッタガン ■NEGポンプ ■FEMTO製品

■顕微ラマン装置 ■各種フォトルミネッセンス測定装置　　パネル・カタログ展示

■研究開発用インクジェット装置 ■FUJIFILM Dimatix ■マテリアルプリンターDMP-2831

■「ナノテクノロジープラットフォーム」事業では、最先端の研究設備を有する全国の大学・研究機関が一体となって、全国的な設備共用体制を構築することにより、ナノテクノロジー研究のさらなる発展に寄与することを目的としています。3つの技術領域（微細構造解析、微細加工、分子・物質合成）を対象に、産学官の幅広い研究に対して最先端設備の利用機会を高度な技術支援とともに提供します。

■ナノインプリント装置、成型製品およびモールド ■コンビナトリアルアークプラズマ蒸着装置 ■レーザーアブレーション装置 ■傾斜温度加熱装置(常用700℃にて約450℃の温度傾斜） ■太陽電池セル評価用ペルチェ温調器

■光学・照明設計ソフトウェア Zemax

■分光感度測定装置

■小型高精度マニュアルプローバー（実機展示） ■パワーデバイス評価用マニュアルプローバー／セミオートプローバー ■※新機種　小型・低コストセミオートプローバー