[27p-A3-1~17] 8.4 プラズマエッチング

2013年3月27日(水) 13:30 〜 18:00 A3 (K1号館 2F-201)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

[27p-A3-1] マスクLine-Edge-RoughnessのWigglingへの影響 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○小藤直行¹，根岸伸幸¹，石村裕昭²，西田敏明²，古林均² (日立中研¹，日立ハイテク²)

^○野尻康弘，飯野大輝，碇山理究，澤田雅人，鈴木啓之，山内健資 (東芝　生産技術センター)

^○飯野大輝¹，野尻康弘¹，鈴木啓之¹，大池匠²，藤井良隆²，豊田浩孝^2,3 (東芝生産技術センター¹，名大工²，名大プラズマナノ工学研究センター³)

^○久保田智広¹，佐藤充男²，岩崎拓也³，小野耕平³，寒川誠二^1,4 (東北大流体研¹，原田産業²，みずほ情報総研³，東北大WPI-AIMR⁴)

^○林俊雄，田嶋聡美，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)

^○（B）武良光太郎¹，神岡武文^1,2，礒野文哉^1,2，川村祐士^1,2，鹿浜康寛^1,2，山下広樹^1,2，山田康平¹，小杉山洋希¹，橋本修一郎¹，渡邉孝信^1,2 (早大理工¹，JST-CREST²)

^○鈴木俊哉¹，竹田圭吾^1,2，近藤博基¹，石川健治¹，関根誠^1,2，堀勝^1,2 (名大院工¹，JST-CREST²)

^○（M1）曹佳棟，米谷亮佑，盧翌，朴鐘胤，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，関根誠，堀勝 (名大院工)

^○中崎暢也，津田博隆，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一 (京大院工)

^○（M1）三宅啓太¹，礒部倫郎¹，深沢正永²，辰巳哲也²，浜口智志¹ (阪大工¹，ソニー²)

^○村木裕，李虎，唐橋一浩，浜口智志 (阪大院工)

^○李虎，唐橋一浩，浜口智志 (阪大院工)

^○（D）溝谷浩平，礒部倫郎，浜口智志 (阪大院工)

^○中山大樹¹，和田章良¹，久保田智広¹，寒川誠二^1,2 (東北大流体研¹，東北大WPI-AIMR²)

^○近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝 (名大院工)

石川健治¹，堀邉英夫²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根誠¹，堀勝¹，^○王浩然¹ (名大院工¹，金沢工大²)

竹内拓也¹，^○石川健治¹，節原裕一²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根誠¹，堀勝¹ (名古屋大工¹，大阪大工²)