○久保田智広1,2,三輪和弘2,アルタンスック バトナサン1,大塚晋吾3,渡辺尚貴3,岩崎拓也3,入江康郎3,小野耕平3,杉山正和2,4,寒川誠二1,2,5 (東北大流体研1,BEANS2,みずほ情報総研3,東大工4,東北大WPI-AIMR5)
セッション情報
一般セッション(口頭講演)
08.プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[28a-A5-1~6] 8.4 プラズマエッチング
2013年3月28日(木) 09:15 〜 10:45 A5 (K1号館 3F-303)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
○渡辺尚貴1,大塚晋吾1,岩崎拓也1,小野耕平1,入江康郎1,植木真治2,額賀理3,杉山正和2,4,久保田智広2,5,寒川誠二2,5 (みずほ情報総研1,BEANSプロジェクト 3D BEANSセンター2,フジクラ3,東大4,東北大5)
○大塚晋吾1,渡辺尚貴1,岩崎拓也1,小野耕平1,入江康郎1,望月俊輔2,三輪和弘3,杉山正和3,4,久保田智弘3,5,寒川誠二3,5 (みずほ情報総研㈱1,数理システム2,BEANSプロジェクト 3D BEANSセンター3,東大4,東北大5)
○望月俊輔1,渡辺尚貴2,大塚晋吾2,岩崎拓也2,小野耕平2,入江康郎2,三輪和弘3,久保田智弘3,4,杉山正和3,5,寒川誠二3,4 (数理システム1,みずほ情報総研2,BEANSプロジェクト3,東北大4,東大5)
○山田高寛1,2,山田浩輔1,大参宏昌1,2,垣内弘章1,2,安武潔1,2 (阪大1,JST CREST2)
○朴鐘胤1,竹内拓也1,石川健治1,節原裕一2,竹田圭吾1,近藤博基1,関根誠1,堀勝1 (名大院工1,阪大工2)