[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

2013年3月29日(金) 09:00 〜 12:00 G7 (B5号館 2F-2201)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

[29a-G7-1] NOx(x=1 or 2) / F2 混合ガスの高温下Si ケミカルドライエッチング (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○田嶋聡美，林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名大院工プラズマナノ工学研究センター)

^○溝尻瑞枝，三上祐史，尾崎公洋 (産総研)

^○三輪和弘¹，植木真治¹，西森勇貴¹，杉山正和^1,2，久保田智広^1,3，寒川誠二^1,3，橋口原^1,4 (BEANS研¹，東大²，東北大³，静岡大⁴)

^○（D）首藤高徳¹，岩鍋圭一郎¹，野田和宏²，中居誠也²，浅野種正¹ (九大¹，アドウェルズ²)

^○萩原啓¹，後藤正英^1,2，大竹浩¹，井口義則¹，更屋拓哉²，年吉洋²，日暮栄治²，平本俊郎² (ＮＨＫ技研¹，東大²)

^○西山宏昭，柴田千尋，西井準治 (北大電子研)

^○高川陽輔¹，菰田潤哉¹，増田恭平¹，坂田浩太朗¹，小川新平²，木股雅章¹ (立命館大¹，三菱電機²)

^○Ajay Tiwari，佐藤弘明，青木誠，武田正典，廣本宣久，猪川洋 (静岡大)

^○和田隆亜¹，山本勝也¹，向山明博²，藤井隆満² (富士フイルム医療開発¹，富士フイルムIJ研究²)

^○西勇輝¹，日比野浩樹²，影島博之²，山口浩司²，永瀬雅夫¹ (徳島大¹，NTT 物性基礎研²)

^○阿部翔太郎，金森義明，羽根一博 (東北大院工)