^○Mihai Alexandru Ciolan^1,3，Iuliana Motrescu²，Dumitru Luca³，永津雅章¹ (GRADUATE SCHOOL OF SCIENCE AND TECHNOLOGY, SHIZUOKA UNIVERSITY¹，RESEARCH INSTITUTE OF ELECTRONICS, SHIZUOKA UNIVERSITY²，DEPARTMENT OF PHYSICS, "AL.I.CUZA" UNIVERSITY³)

[29p-PA1-11] ▼ZnOナノ微粒子の存在下におけるアミノ酸の窒素プラズマ修飾 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.4)

^○Iuliana Motrescu¹，ミハイアレクサンドルチョラン^2,3，ドミトルルカ³，永津雅章² (Research Institute of Electronics, Shizuoka University¹，Graduate School of Science And Technology, Shizuoka University²，Department of Physics, "Al.I.Cuza" University³)

[29p-PA1-12] ソリューションプラズマによる電極上での物理的・化学的反応の解析 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.4)

^○Yongkang Heo¹，Maria Antoaneta Bratescu¹，齋藤永宏^1,2,3 (名大工¹，名大エコ²，名大グリ³)

[29p-PA1-13] フォトニック結晶作製を目的とした高Al組成AlGaAs深掘ドライエッチング (2) (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.4)

^○（B）橋村健太郎 (阪大)

[29p-PA1-14] n-GaN表面のN2プラズマエッチングダメージ (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.4)

^○新部正人¹，川上烈生²，中野由崇³，小西将士²，森祐太²，小高拓也¹，白濱達夫²，山田哲也²，富永喜久雄²，向井孝志⁴ (兵庫県大高度研¹，徳島大院工²，中部大総工研³，日亜化学⁴)

[29p-PA1-15] パルス電源を用いたH₂プラズマによるa-Si 膜クリーニング (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.4)

^○橋本賢治¹，安井晋示¹，真鍋俊樹²，小池国彦² (名工大¹，岩谷産業²)

[29p-PA1-16] ▲DCアーク放電生成グラファイト外包金ナノ微粒子のプラズマ表面官能基修飾 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.5)

^○（D）楊恩波¹，津村駿²，河邑功祐²，永津雅章^1,2 (静大創造大学院¹，静大院工²)

[29p-PA1-17] △ソリューションプラズマによる金ナノ粒子合成における水－アルコール系溶媒効果 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.5)

^○簾智仁¹，上野智永^1,2，齋藤永宏^1,2,3 (名大院工¹，名大グリーンモビリティ連携研究センター²，名大エコトピア³)

セッション情報

[29p-PA1-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス