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一般セッション(ポスター講演)

22．合同セッションL » 22.1 合同セッションL「MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化」

[29p-PA4-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

2013年3月29日(金) 13:30 〜 15:30 PA4 (第一体育館)

ポスター掲示時間13:30〜15:30(PA会場)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

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[29p-PA4-1] 光波長検出微小機械振動子の作製と特性評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○米谷玲皇，劉琿，割澤伸一，石原直 (東大工)

[29p-PA4-2] △MEMSデバイス向け厚膜PZT/PZTバイモルフ構造 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○（B）井上純一¹，神田健介^1,2，斎藤誉司²，藤田孝之^1,2，前中一介^1,2 (兵庫県大工¹，JST²)

[29p-PA4-3] テトラ組成PZT薄膜を用いた圧電MEMS加速度センサ (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○小林健¹，鈴木靖弘²，牧本なつみ¹，前田龍太郎¹，及川貴弘³，和田亜由美³，舟窪浩³ (産総研¹，茨城大²，東工大³)

[29p-PA4-4] アレイ型CMOS-MEMS加速度センサのためのデバイスの評価 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○加賀谷賢¹，小西敏文²，山根大輔¹，本橋剛¹，松島隆明²，伊藤浩之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTT-AT²，東大³)

[29p-PA4-5] アレイ型ＭＥＭＳ加速度センサの設計 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○小西敏文¹，山根大輔²，本橋剛²，加賀谷賢²，松島隆明¹，伊藤浩之²，石原昇²，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉² (ＮＴＴ－ＡＴ¹，東工大²，東大³)

[29p-PA4-6] アレイ型MEMS加速度センサの検討 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○山根大輔¹，小西敏文²，松島隆明²，本橋剛¹，加賀谷賢¹，伊藤裕之¹，石原昇¹，年吉洋³，町田克之^1,2，益一哉¹ (東工大¹，NTTアドバンストテクノロジ²，東大³)

[29p-PA4-7] 酸化チタンナノチューブ微小水素ガスセンサの特性に及ぼす水素処理の効果 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○戸邊翼，小島領太，木村康男，庭野道夫 (東北大通研)

[29p-PA4-8] CO₂ガスセンサのための波長選択赤外放射 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

澤田貴裕，熊谷慎也，^○佐々木実 (豊田工大)

[29p-PA4-9] 着衣可能な容量型呼吸センサ (1:30 PM ～ 3:30 PM)

クンドウスブラタクマル，熊谷慎也，^○佐々木実 (豊田工大)

[29p-PA4-10] △微細構造体の分離によるマイクロ予備濃縮器の性能向上 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○柿田直輝¹，宮下英俊¹，岸田悟^1,2，李相錫¹ (鳥取大学工¹，TEDREC²)

[29p-PA4-11] GLEIA法による全自動インスリン測定チップの開発 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○塩原秀¹，牛島ひろみ²，浮田芳昭¹，福村康和³，高村禅¹ (北陸先端大¹，バイオデバイステクノロジー²，小松電子³)