[30a-G6-1~11] 13.4 配線技術

2013年3月30日(土) 09:00 〜 12:00 G6 (B5号館 1F-2106)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

[30a-G6-1] 高速AFMによる銅溶解のin situ観察 (9:00 AM ～ 9:15 AM)

^○坂本良介，早瀬仁則 (東京理科大)

^○作川卓，早瀬仁則 (東京理科大)

^○尾形奨一郎¹，小林成貴¹，高東智佳子²，嶋昇平²，福永明²，淺川雅³，福間剛士^1,3 (金沢大理工¹，荏原製作所²，金大バイオAFMセ³)

^○近藤英一，五味瞭汰，田部井幸寛，渡邉満洋，金蓮花 (山梨大)

^○（M2）嶋紘平，清水秀治，百瀬健，霜垣幸浩 (東大院工)

^○菊地良幸^1,2，和田章良¹，寒川誠二^1,3 (東北大流体研¹，東京エレクトロン技術研²，東北大WPI-AIMR³)

^○佐藤勝，武山真弓，野矢厚 (北見工大)

^○池田淳也 (富士通研究所)

^○神吉剛司，池田淳也，須田章一，小林靖志，中田義弘，中村友二 (富士通研究所)

^○青木真由，朴澤一幸，花岡裕子，武田健一 (ASET)

^○乗木暁博¹，李康旭²，裵志哲²，福島誉史²，田中徹^1,3，小柳光正² (東北大院工¹，東北大未来研²，東北大院医工³)