セッション情報
一般セッション(口頭講演)
13.半導体A(シリコン) » 13.4 配線技術
[30p-G6-1~6] 13.4 配線技術
2013年3月30日(土) 13:30 〜 15:00 G6 (B5号館 1F-2106)
△:奨励賞エントリー
▲:英語発表
▼:奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄:どちらもなし
○Taewoong Kim,Takeshi Momose,Yukihiro Shimogaki (東大院工)
○Guangjie Yuan,Hideharu Shimizu,Takeshi Momose,Yukihiro Shimogaki (東大院工)
○鈴木雄大,清水秀治,百瀬健,霜垣幸浩 (東大)
○町田英明1,石川真人1,須藤弘1,岩井和俊2,河野有美子2 (気相成長1,東京エレクトロン2)
○河野有美子2,町田英明1,石川真人1,須藤弘1,岩井和俊2,廣田良浩2 (気相成長1,東京エレクトロン2)
○吉村泰彦,呉小鵬,吉見聡浩,有馬潤,大見俊一郎 (東工大総理工)