[27a-A6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[27a-A6-2] マイクロ波プラズマプロセスによる非縮退高濃度ホウ素ドープ単結晶CVDダイヤモンド層の積層構造化とそのキャリア輸送特性 (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○九鬼知博，毎田修，伊藤利道 (阪大院工)

キーワード：ホウ素ドープダイヤモンド