[27a-A6-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[27a-A6-4] ▲原子層堆積法による水素終端ダイヤモンド上のAl₂O₃とHfO₂の電子構造 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○劉江偉¹，廖梅勇¹，井村将隆¹，小出康夫^1,2,3 (物材研 光・電子材料ユニット¹，物材研 微細加工プラットフォーム²，物材研 低炭素化材料設計・創製ハブ拠点³)

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