[27a-F1-1~9] 6.5 表面物理・真空

[27a-F1-1] 熱酸化と超音速分子線によるSi(113)表面酸化過程の比較検討 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○大野真也¹，安部壮祐¹，兼村瑠威¹，三浦脩¹，成重卓真¹，井上慧¹，百瀬辰哉¹，吉越章隆²，寺岡有殿²，尾形祥一^1,3，安田哲二³，田中正俊¹ (横国大工¹，原子力機構²，産総研³)

キーワード：シリコン、酸化、超音速分子線