[27a-F1-1~9] 6.5 表面物理・真空

[27a-F1-2] 統合Si酸化反応モデルの実験的検証(6)：Si(111)における準安定吸着酸素分子の挙動 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○（B）西本究¹，唐佳芸¹，小川修一¹，吉越章越²，石塚眞治³，渡辺大輝¹，寺岡有殿²，高桑雄二¹ (東北大多元研¹，原子力機構²，長岡技科大³)

キーワード：リアルタイム光電子、準安定酸素分子、Si酸化