[27a-PA2-1~2] 1.3 新技術

[27a-PA2-1] MOD法により異なる基板上に作製したVO_x薄膜の特性比較 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○ソン レー，立木隆，内田貴司 (防衛大)

キーワード：MOD、Transition temperature、Temperature coefficient of resistance