[27a-PA2-1~2] 1.3 新技術

[27a-PA2-2] MOD法により作製したVO_x薄膜の特性評価 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○笠井博幸，ソン レー，立木隆，内田貴司 (防衛大)

キーワード：二酸化バナジウム、有機金属分解法、MOD