[27a-PA5-1~9] 1.7 計測技術

[27a-PA5-9] 連続視野角画像相関法を用いた単層薄膜上の微小欠陥や微小パーティクル検出に関する研究 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○山本将史¹，刀根輝徳²，久保田弘¹ (熊本大学大学院自然科学¹，熊本大学工学部²)

キーワード：欠陥検査