[27a-PB1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[27a-PB1-2] MOD法を用いて作製した強誘電体薄膜の圧電応答 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○梶村恵子¹，山本伸一¹，町田絵美²，浦岡行治² (龍谷大理工¹，奈良先端科学技術大学院大²)

キーワード：PZT、圧電応答顕微鏡