[27a-PB1-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[27a-PB1-3] 希土類を添加したGaN薄膜の相境界付近における巨大圧電性 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○鈴木雅視，伊藤一也，柳谷隆彦 (名工大)

キーワード：圧電性、GaN、スパッタ