[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-7] マグネトロンスパッタ装置により形成されたＺｎＯ透明導電膜の表面形態と結晶構造 (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○山本直樹，森澤桐彦 (高知工科大)

キーワード：ZnO、透明導電膜、表面形態