[27p-A2-1~14] 3.4 計測光学

[27p-A2-11] プラズマ端微分反射分光による配線膜の導電率測定 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○小貫哲平¹，桑野博喜² (茨城大工¹，東北大工²)

キーワード：配線膜、プラズマ端、反射分光