[27p-A2-1~14] 3.4 計測光学

[27p-A2-14] スキャトロメトリを応用した回折格子溝断面の高精度非破壊計測技術(2) (5:00 PM ～ 5:15 PM)

^○廣瀬丈師¹，松井繁²，江畠佳定² (日立　横研¹，日立ハイテク　研開²)

キーワード：grating、scatterometry