[27p-A6-1~16] 6.2 カーボン系薄膜

[27p-A6-8] Al₂O₃パッシベーションにより熱的安定化したNO₂吸着・水素終端ダイヤモンドFETの動作機構 (3:45 PM ～ 4:00 PM)

^○平間一行¹，佐藤寿志¹，原田裕一¹，山本秀樹¹，嘉数誠^1,2 (NTT 物性研¹，佐賀大²)

キーワード：ダイヤモンド、電界効果トランジスタ、Al2O3