[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-16] △マイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト膜除去プロセスの開発 (5:30 PM ～ 5:45 PM)

^○野阪幸平¹，石島達夫¹，田中康規¹，上杉喜彦¹，堀邊英夫²，後藤洋介² (金沢大¹，金沢工大²)

キーワード：水中プラズマ、レジスト膜除去