[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-2] グラフェンへのHfO₂のプラズマ支援原子層堆積 (1:45 PM ～ 2:00 PM)

^○北嶋武，中野俊樹 (防衛大)

キーワード：原子層堆積、グラフェン、プラズマ