[27p-A7-1~17] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[27p-A7-4] プラズマCVDを用いた単結晶ダイヤモンド合成における合成速度の予測 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

^○山田英明，茶谷原昭義，杢野由明，坪内信輝，鹿田真一 (産総研ダイヤラボ)

キーワード：単結晶ダイヤモンドウェハ、マイクロ波プラズマCVD、シミュレーション