[27p-B9-1~17] 9.4 熱電変換

[27p-B9-5] KFMによるSOI層のゼーベック係数測定 (2:15 PM ～ 2:30 PM)

三輪一聡¹，鈴木悠平¹，サレ ファイズ^1,2，^○池田浩也¹ (静大電研¹，学振特別研究員DC²)

キーワード：ゼーベック係数、Kelvin-probe force microscopy