[27p-F1-1~14] 6.5 表面物理・真空

[27p-F1-14] 高真空スパッタによるCo膜トレンチへのCu埋め込みに与えるO₂の影響 (5:00 PM ～ 5:15 PM)

^○飯田浩幸，伊藤勝利，齊藤茂 (東理科大工)

キーワード：Cu埋め込み、マグネトロンスパッタリング、酸素添加