[27p-F1-1~14] 6.5 表面物理・真空

[27p-F1-7] ナノインデンテーション法によるフレキシブル基板上の酸化珪素薄膜の機械的特性評価 (3:00 PM ～ 3:15 PM)

^○塩飽義大¹，伊與田宗慶¹，口山崇²，井上健二²，山本憲治²，望月正人¹，関修平¹ (阪大院工¹，カネカ²)

キーワード：酸化ケイ素、ナノインデンテーション