[27p-G21-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[27p-G21-3] △MOVPE成長N極性InGaNにおけるIn組成のc面サファイア基板微傾斜角依存性 (1:30 PM ～ 1:45 PM)

^○正直花奈子¹，崔正焄^1,2，進藤裕文¹，木村健司^1,2，谷川智之^1,2，花田貴^1,2，片山竜二^1,2，松岡隆志^1,2 (東北大金研¹，JST-CREST²)

キーワード：InGaN、N-polar、MOVPE