[27p-G4-1~11] GaN系材料表面・界面評価の進展 -基礎物性から出発するデバイス性能向上へのアプローチ-

[27p-G4-3] DLTS法によるGaN中の点欠陥の評価（30分） (2:15 PM ～ 2:45 PM)

^○徳田豊 (愛知工大)

キーワード：GaN、DLTS、点欠陥