[27p-G4-1~11] GaN系材料表面・界面評価の進展 -基礎物性から出発するデバイス性能向上へのアプローチ-

[27p-G4-7] プラズマ照射によるn型GaNの電気特性劣化のガス種依存性 (4:30 PM ～ 4:45 PM)

本郷直樹，^○瀧本拓真，中村成志，奥村次徳 (首都大理工)

キーワード：GaN、plasma、defect