[27p-G4-1~11] GaN系材料表面・界面評価の進展 -基礎物性から出発するデバイス性能向上へのアプローチ-

[27p-G4-8] △AlGaN/GaNヘテロ接合におけるピエゾ効果と荷電表面準位 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○保木井美和，榊裕之，秋山芳広，大森雅登 (豊田工大)

キーワード：表面準位、ひずみ