[27p-PA2-1~22] 5.3 光制御

[27p-PA2-9] △歪SiGe光変調器に向けたSi/SiGe/Siコア光導波路の作製 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○金栄現¹，長田剛規²，秦雅彦²，竹中充¹，高木信一¹ (東大¹，住友化学²)

キーワード：光変調器　Modulator、SiGe