[27p-PA4-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[27p-PA4-10] Ar/N₂スパッタガスで作製したMgO薄膜の放電特性の検討 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.6)

中山玄¹，^○三栖貴行²，村上雅彦¹，後藤みき¹，荒井俊彦¹ (神奈川工科大工¹，神奈川工科大創造工²)

キーワード：MgO、二次電子放出係数