[27p-PA4-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[27p-PA4-4] ベンゼンを原料としたアモルファス状炭素膜の成膜反応の赤外分光解析 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.2)

高木雄也，高見佳生，津村高成，八木翔平，谷口雄二郎，丸野尚紀，^○篠原正典，松田良信，藤山寛 (長崎大院工)

キーワード：赤外分光、ベンゼン、アモルファス状炭素膜