[27p-PB4-1~16] 13.5 Siプロセス技術

[27p-PB4-1] Agを用いたサーファクタント・クリスタライゼーション法によるゲルマニウム薄膜の結晶化 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○三芝直也¹，田中勝之¹，稲瀬陽介¹，三浦寛之¹，神子公男²，弓野健太郎¹ (芝浦工業大¹，東大生産技術研²)

キーワード：Surfactant-Crystallization